它的结构可认为是4个氧原子位于三角形多面的脚上.多面体中心是一个硅原子.这样,每4个氧原子近似共价键合到硅原子,满足了硅的化合价外壳.如果每个氧原子是两个多面体的一部分,则氧的化合价也被满足,结果就成了称为石英的规则的晶体结构.在熔融石英中,某些氧原子,成为氧桥位,与两个硅原子键合.某些氧原子没有氧桥,只和一个硅原子键合.可以认为热生长二氧化硅主要是由人以方向的多面体网络组成的.与无氧桥位相比,有氧桥的部分越大,氧化层的粘合力就越大,而且受损伤的倾向也越小.干氧氧化层的有氧桥与无氧桥的比率远大于湿氧氧化层.因此,可以认为,SiO2与其说是原子晶体,却更近似于离子晶体.氧原子与硅原子之间的价键向离子键过渡.