【氯化氢法】能耗多,原料便宜重复利用.
Si+3HCl=加热=SiHCl3+H2
SiHCl3+H2=高温=Si+3HCl
【氯化再氢气还原】原料贵,反应较容易.
Si+2Cl2=加热=SiCl4
SiCl4+2H2=加热=Si+4HCl