超高纯试剂：UP-S级（也就是MOS级）：金属杂质含量小于1ppb,适合0.35—0.8微米集成电路加工工艺.等离子体质谱纯级试剂（ICP-Mass Pure Grade）:绝大多数杂质元素含量低于0.1ppb,适合等离子体质谱仪（ICP Mass）日常...