SiO2膜可作为减反射膜层.由Si靶反应溅射获得.你问的是透射率吧?这是一个综合的问题.基本原则是Ar气决定腔体内气压,气体压力和溅射功率影响溅射速率的大小,Ar气和氧气的配比影响膜层中的SiOx化合物成分,从而影响SiOx...