电子衍射与X射线衍射一样,遵从衍射产生的必然条件（布拉格方程+反射定律,衍射矢量方程或厄瓦尔德图解等）和系统消光规律.但电子波是物质波,按入射电子能量的大小,电子衍射可分为高能电子衍射、低能电子衍射和反射式高能电子衍射,而X射线衍射是X射线照射样品.