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等离子体密度随频率如何变化?
在平板电极等离子体装置中,其他条件相同时
人气:454 ℃ 时间:2020-05-27 16:15:01
解答
一般情况下,外界驱动电源的频率越高产生的等离子体密度就越高.外界驱动频率越高,等离子体中电子受到的场变化越快,因此电子与粒子的碰撞越频繁,转移的能量也就越多,所以离化率就会越高,产生的等离子体密度也就越高。希望能够帮到你
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