①硫酸铜加热过程中，铜离子水解生成硫酸铜和硫酸，但硫酸没有挥发性，所以最终得到的固体仍然是硫酸铜，故正确；
②Na₂O₂溶于水生成氢氧化钠，所以最终得到NaOH，故错误；
③NaCl为强酸强碱盐，与水不反应，性质稳定，加热后仍得NaCl，故正确；
④碳酸氢钙在溶液中加热分解生成碳酸钙沉淀，故错误；
⑤氯化铁溶于水，铁离子水解生成氢氧化铁和氯化氢．由于氯化氢易挥发，而水解又是吸热的，因此最终得到的是氢氧化铁，故错误；
故选B．