硅铁氯化法先将硅铁加入氯化炉内,然后加热至300℃左右,以7.5 m3/h通人氯气进行反应生成四氯化硅,经冷凝后,得到粗品四氯化硅.将锑粉(为四氯化硅重量的0.05%)加入粗四氯化硅中进行精馏,经回流30 min然后取56～59℃的馏分,制得工业级四氯化硅成品.
Si+2Cl2=加热=SiCl4 　　将工业级四氯化硅进一步精馏并长时间回流,可制得高纯四氯化硅.