太阳能电池片扩散工艺气体氧气什么作用
人气:176 ℃ 时间:2020-09-26 16:59:04
解答
因为用POCL3进行扩散时,POCL3会在高温(>600℃)下分解成为P2O5和PCL5.而PCL5是不易分解的,而且会腐蚀硅片.所以我们通一定量的氧气,使PCL5和氧气反应生成P2O5和氯气.而扩散的反应主要就是沉积在硅片表面的P2O5与硅片反应生成SIO2和P原子,然后P原子在硅片中进行扩散.
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