1．能否用四探针法测量n／n+外延片及p／p+外延片外延层的电阻率?
答：不能用四探针法测量同型外延片.
2．能否用四探针法测量n／p外延片外延层的电阻率?
答：能用四探针法测量异型外延片.
3．为什么测量单晶样品电阻率时测试平面要求为毛面,而测试扩散片扩散层薄层电阻时测试面可为镜面?
答：毛面较能保证金属探针与样品接触良好,所以测量单晶样品电阻率时测试平面要求为毛面."...测试扩散片扩散层薄层电阻时测试面可为镜面..."其实当扩散片的测试面也为毛面时,对测量更好,但做扩散前已经将表面抛光成了镜面,并且扩散之后的扩散层的厚度较小,故不适合再研磨或吹沙,所以只能测镜面.为了能使测量更准,就对探针的压力和针尖有不同“毛面”的要求.
（供参考）回答很专业，非常感谢。能否具体说明一下为什么四探针无法测试同型外延片？同型外延片与异型外延片相比只是测试厚度更厚了，为什么就不能测呢？答：不是无法测试，而是测不准。同型外延指：在P型材料上外延一层P型材料，或在N型材料上外延一层N型材料。这样外延层与衬底之间没有“隔绝的界限（空间电荷区不明显）”，这里不是“测试厚度”的问题。这时测出来的结果包含了衬底的贡献，就不算准确了。（抱歉两个问题一起作答。供参考）