差动电容式传感器因其带电极板间的静电引力很小,所需输入力和输入能量极小,因而可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很灵敏,分辨力高,能敏感0.01μm 甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小,采...