纯水和超纯水一般都没有统一的标准.是根据用户的需求来规定.
一般意义上讲纯水至少应该是去离子水,即水中大部分阴阳离子是应该被去除的.细菌、悬浮物等的含量也应是相当低的.
目前水质要求最高的超纯水是半导体行业,根据半导体芯片的大小和线径的不同水质要求也不一样,其超纯水的水质指标如下：
电阻率大于18.2兆欧（25摄氏度）；TOC（总有机碳）小于1到10ppb,DO（溶解氧）小于1到10ppb；Particle（颗粒）：0.05微米小于200个/升；离子含量大部分是小于20到50ppt；细菌检测：无.