检测平整度用的是空气劈尖干涉原理,当光垂直入射时,在工件的上表面和玻璃板的下表面反射的光相干涉,当光波的光程差为波长的整数倍时,形成明条纹,为半波长的奇数倍时,形成暗条纹.而光程差取决于空气层的厚度,空气层厚...