还真细心阿!
我也留意过这个问题,但从未见过官方的解答.谈谈个人见解.
“计”一般倾向于比较简易,同类测量器件中相对便宜,精度也相对不高的仪器.如：弹簧测力计、液体密度计,光度计、温度计等.
“仪”则一般指相对比较贵重,精度比较高的测量仪器.如：螺旋测微仪、光谱仪、椭偏仪等（别把投影仪算上,我说测量仪器）
“器”比较通称化,人们以功能命名是喜欢用“**器”.器一般有一定体积,往往有很多部分系统化构成,且很多不执行测量任务.如：示波器、搅拌器、加热器、过滤器等.
“具”指最基本的长度,体积等物理量通过直接比较的方法进行测量的器件.例子倒举不出,固陋了.
其实好像没什么严格规定的,只是汉语的语言习惯是对仪器取名的时候有一些倾向,平时多留心,你可以自己总结下,答案可能会和我的不一样.