细菌、真核生物以及噬菌体的RNA聚合酶有所不同,但都含有的亚基有α、β、β’和δ.
RNA聚合酶全酶形式为α2ββ’δ,共5个亚基.其中α亚基与RNA聚合酶的四聚体核心（α2ββ’）的形成有关；β亚基含有核苷三磷酸的结合位点；β’亚基含有与DNA模板的结合位点；而δ因子只与RNA转录的起始有关,与链的延伸没有关系,一旦转录开始,δ因子就被释放,而链的延伸则由四聚体核心酶（core enzyme）催化.所以,δ因子的作用就是识别转录的起始位置,并使RNA聚合酶结合在启动子部位.