制备的方法很多,比如说：
（1）蒸镀法.主要由磁控溅射、分子束外延等方法；
（2）旋涂法,就是将溶胶等通过旋涂的方法制备薄膜；
（3）化学法.比如采用表面氧化的方法可以制备氧化物薄膜等.