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MEMS有哪些键合类型
人气:246 ℃ 时间:2020-05-28 03:52:22
解答
直接键合(多用于Si-Si,SiO2-Si,SiO2-Sio2之间的连接)
阳极/静电键合(多用于Si和玻璃的键合,对表面粗糙度不那么敏感)
过渡层键合(在需要键合的两种物质间加类似粘合物的东东~)
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