位错密度的测量是个难题,传统的方法是采用金相法,通过观察位错露头的个数,计算位错密度.高分辨电镜是个办法,也是很多人用的办法,但是做过相关研究的人都会知道该方法的固有缺陷.1.好的高分辨电镜晶格花样不宜获得,就算是可以获得,也通常只在一个很小的区域,因此得到的值缺乏统计性.2.获得高质量高分辨花样后,位错通常是很难辨别的,因为晶格通常不是很清楚,通常要通过傅立叶变化的方法去处理花样,但是傅立叶变换会引入很多误差,有些本来不是位错的地方看起来也像是位错,因为透射电镜晶格像的面积非常小,所以如果多出几根位错也会使结果产生数量级的误差.但是不得不说,TEM或传统金像分析法是最直接的方法.\x0d位错密度的确定是个公认的难题,但是也并非不能解决,有一些间接的方法可以得到位错密度,众所周知,位错密度与材料的残余应变有很大的关系,因此如果残余应变能够精确的测量,再辅以相应的模型,位错密度是可以得到精确表征的.\x0d关于残余应变,也有很多问题,传统的XRD线型分析,可以得到残余应变,但是由于材料弹性系数的各向异性,通常在不同的晶向指数上,其应变也不同,从而产生所谓的应变对比度（strain contrast）,应变对比度的表征需要很强的晶体学基础.