气体流量单位——sccm
SCCM=standard cubic centimeter per minute
标准状态毫升/分(ml=cm3),标准状态为 0℃,1atm.
Sccm stands for Standard Cubic Centimeters per Minute.Where "Standard" means referenced to 0 degrees Celsius and 760 Torr.
SLM 标准升/分钟
SCCM(标准毫升/分)