特征x射线为电子击靶,使原子内层电子击出,外层电子跃迁而激发出x射线；荧光x射线为x射线照射使原子内层电子激发,外层电子跃迁而发出x射线,也叫二次特征辐射.特征x射线由原子序数决定,所以波长一样