P={x|x=a²-4a+5，a∈N^*}
={x|x=（a-2）²+1，a∈N^*}
∵a∈N^*∴a-2≥-1，且a-2∈Z，即（a-2）²∈{0，1，2，…}，而M={x|x=a²+1，a∈N^*}，
∴M⊊P．
故答案为M⊊P．