1、用焦炭与石英砂（SiO2）混合高温,产生粗硅：SiO2+2C=高温=Si+2CO↑
2、将粗硅与氯气高温,生成四氯化硅：Si+2Cl2=高温=SiCl4
3、将氢气与四氯化硅高温,生成SiHCl3：SiCl4+H2=高温=SiHCl3+HCl