怎么根据硅片重量计算厚度阿
人气:215 ℃ 时间:2020-04-29 12:10:33
解答
要看是好多英寸的,还要晓得纯硅的密度(可查).
若硅片直径d米(1英寸=0.0254米),硅的密度为ρ千克/米³,硅片重m千克,硅片均匀且不考虑定位边的话,那么硅片的厚度h大致为
h=4m/ρπd²
如果要考虑定位边,定位边截去的面积为Sd米²,则
h=4m/(ρπd²-4ρSd)
h单位是米,网上查得ρ=2.42克/厘米³=2420千克/米³,注意单位转化.
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