有谁知道四氯化硅SiCl4和氮气N2在氢气H2的保护下反应制取氮化硅的方程式
人气：122 ℃ 时间：2020-03-21 16:45:40
解答
也可用化学气相沉积法,使SiCl4和N2在H2气氛保护下反应,产物Si3N4积在石墨基体上,形成一层致密的Si3N4层.此法得到的氮化硅纯度较高,其反应如下：
SiCl4＋2N2＋6H2→Si3N4＋12HCl
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