原理不同,光学镜是利用反光来观察,而电镜是利用电子束.电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示,它与透过样品的电子束入射锥角和波长有关.可见光的波长约为300～700纳米,而电子束的波长与加速电压有关.依据波粒二象性原理,高速的电子的波长比可见光的波长短,而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制,因此电子显微镜的分辨率（约0.2纳米）远高于光学显微镜的分辨率（约200纳米）.当加速电压为50～100千伏时,电子束波长约为0.0053～0.0037纳米.由于电子束的波长远远小于可见光的波长,所以即使电子束的锥角仅为光学显微镜的1%,电子显微镜的分辨本领仍远远优于光学显微镜