若实验未开始,在蒸镀的时候,遮上一块硅片,根据探针测试法就可以知道二氧化硅薄膜厚度了.
如果已蒸镀,可用氢氟酸和氟化氨溶液将二氧化硅腐蚀,不一定要劈尖状,因为量一下腐蚀彻底的边缘硅片厚度,再与硅片上二氧化硅薄膜完整的区域的厚度,一比较,就可知道薄膜厚度.