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如何用等量干涉原理检验光学表面质量
如何用等厚干涉原理检验光学平面的表面质量
人气:173 ℃ 时间:2020-05-22 01:51:01
解答
在待检测光学平面上放置一标准光学平面,并在一端接触的地方放一微小物体,使两平面成一微小夹角,便构成了一个空气尖劈.用平行光照射时,根据干涉图样的弯曲情况就可判断待测平面的表面质量.
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