1)温度高,惰性气氛,原子化条件好,有利于难熔化合物的分解和元素激发,有很高的灵敏度和稳定性；
(2)“趋肤效应”有效消除自吸现象,线性范围宽（4～5个数量级）；
(3) ICP中电子密度大,碱金属电离造成的影响小；
(4) Ar气体产生的背景干扰小；
(5) 无电极放电,无电极污染；