ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪,主要用途是进行化学元素分析检测,特别是对金属元素分析最擅长,也能分析B、P、As等非金属元素.他和ICP-OES、AAS是化学元素分析的常用的三种仪器,ICP-MS的检测限最低,可以达到PPT（10的负12次方）级.