硅烷（SiH4）和三氟化氮(NF3)的反应产物是什么?
人气：394 ℃ 时间：2020-06-11 17:12:20
解答
有水参加反应：
8 NF3 + SiH4 + 11 H2O = 24 HF + 8 NO + H2SiO3
无水参加反应：
8 NF3 + 3 SiH4 = 4 N2 + 3 SiF4 + 12 HF
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