解:∵A中元素至多只有一个
∴有以下两种情况存在.
(1)集合A是空集．
则M≠0且(-2)^2-4M*31/3
(2)集合A是只有一个元素．
当M=0时,x=3/2,符合条件．
当M≠0,(-2)^2-4M*3=0
∴M=1/3
综合(1),(2),若A中元素至多只有一个,M≥1/3或者M=0.